プラズマ装置は多くの工場で使われています

物質にエネルギーを与え続ける固体から液体、気体へと変化します。さらにエネルギーを与え続けると分子から原子が離れ、最終的にプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態がプラズマです。自然界では太陽やオーロラ、稲妻が代表的な存在で人工のものは蛍光灯などに使われています。プラズマ装置は気体に過剰なエネルギーを与えてプラズマを発生させる過程で生じる原子やイオンを使い、精密機器の表面に付着した細かな汚れを取り除きます。

半導体や電子機器など精密機器を製造する過程では有機物や無機物による様々な汚れが発生します。汚れを放置すると品質を劣化させてしまうため何らかの方法で取り除く必要があります。細かな汚れを取り除く方法は大きくウェット洗浄とドライ洗浄に分けることができます。ウェット洗浄はアンモニアや塩酸などの薬液を使うため、最後に洗い流して乾燥させる必要があり時間がかかります。

精密機器は完成までに何度も洗浄作業を繰り返す必要があり、生産性を向上させるには1回あたりの時間を短縮しなければなりません。プラズマ装置はドライ洗浄によって精密機器に付着した汚れを効率的に除去できるので、多くの工場で使われています。この装置には主にアルゴンガスを使用するRIEモードと、酸素ガスを使用するDPモードという2種類の処理方式があります。RIEモードのプラズマ装置はアルゴンイオンを加速して有機物と無機物に衝突させ、物理的に弾き飛ばします。

DPモードのプラズマ装置は酸素分子から離れた原子が化学反応によって有機物を水分子と二酸化炭素に変えます。これらの処理方式を1台に搭載したタイプのプラズマ装置もあり、効率的に精密機器の洗浄作業を行うことができます。

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