プラズマクリーナーが基板洗浄に有効な理由

プラズマクリーナーは、その特性を生かして基板洗浄に利用されることが多いものですが、その理由を詳しく知っている人は決して多くはありません。プラズマは雷に代表されるように高い電圧で空気中に電気を放出するものとなっており、その力によって様々なものを破壊してしまうイメージがあります。そのため、そのエネルギーを基板洗浄に利用すると、基板そのものを破壊してしまうのではないかと思う人も多いのですが、実際には汚れやほこりだけを除去し、利用しやすい状態に変化させることができるものとなっています。その理由は、プラズマの特性にあります。

プラズマは高電圧によって高いエネルギーを持ち、本来は導電体ではない空気中を通過するほどのエネルギーを持っていますが、このエネルギーの量によって通過できる距離やその媒体が異なります。そのため適切な電圧に設定することで、基板の表面だけを通化し、内部に影響を与えない仕組みとなっているのが特徴です。プラズマクリーナーはこの原理を応用して基板の表面のゴミやほこりなどを除去し、洗浄を行う仕組みとなっています。同時にプラズマクリーナーはその表面を適度に荒らすことで、部品等の接着をしやすくすると言う効果もあります。

近年は特に表面実装を行うことが多いため、表面を荒らすことによってその表面積を増やし、より接着力を高める効果もあります。このような理由により、プラズマクリーナーは基板洗浄に適したものとなっています。

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