2種類のプラズマクリーナーについて

プラズマクリーナーはドライ洗浄によって精密機器に付着した細かな汚れを取り除く装置です。半導体などの精密機器を製造する過程では有機物や無機物で構成された様々な汚れが生じるため、何度も洗浄を行って取り除かなければなりません。製品が完成するまでの時間を短縮するには、効率的な方法で洗浄作業を行う必要があります。ドライ洗浄はウェット洗浄のように塩酸やアンモニアなどの薬液を使わずに汚れを除去します。

リンスで薬液を洗い流して乾燥させる工程が不要なので、効率的に製品を完成させることができます。プラズマクリーナーはドライ洗浄によって精密機器の品質と生産性を大幅に向上させます。この装置にはDPモードとRIEモードという2種類の処理方式があり、前者は有機物のみに対応していますが後者は有機物と無機物の両方に対応できます。プラズマクリーナーはプラズマを発生させる過程で生じる原子やイオンを使って汚れを除去します。

物質にエネルギーを与え続けると固体から液体、気体へと変化して最終的にプラズマになります。気体に過剰なエネルギーが与えられると分子から原子が離れます。分子がプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態がプラズマです。DPモードでは酸素分子から酸素原子が離れて有機物と化学反応を起こし、水分子と二酸化炭素に変えます。

RIEモードではアルゴン原子が電離されてアルゴンイオンと電子になります。アルゴンイオンを加速し有機物や無機物に衝突させて弾き飛ばします。製造業の現場では状況に応じて2種類の処理方式が使い分けられています。

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