プラズマクリーナーの処理方式と特徴について

プラズマとは固体や液体、気体に続く物質の第4の状態とも呼ばれており自然界では太陽やオーロラなどが代表的な存在です。気体に過剰なエネルギーを与え続けると人工的にプラズマを作り出すことができます。エネルギーを気体に与え続けると分子から原子が離れ、最終的にイオンと電子に分かれた状態になります。気体がプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態がプラズマです。

プラズマクリーナーはプラズマの発生過程で生じる原子やイオンを使い、精密機器の表面に付着した様々な不純物を取り除きます。半導体や電子デバイス、レンズなどの精密機器を製造する過程では有機物や無機物による様々な不純物が発生します。製品の品質を向上させるためには何度も洗浄作業を繰り返す必要があります。アンモニアや塩酸などの薬液を使用する場合、後で洗い流して乾燥させなければならないため時間がかかってしまいます。

プラズマクリーナーは薬液を使わないので洗い流して乾燥させる工程が不要です。精密機器の表面に付着した不純物を素早く取り除くことができます。プラズマクリーナーにはDPモードとRIEモードという2種類の処理方式が存在します。前者は高周波電力によって酸素分子から酸素原子が離れ、精密機器に付着している有機物と化学反応を起こし水分子と二酸化炭素に変えます。

後者はアルゴン原子が高周波電力によってアルゴンイオンと電子になり、加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させます。DPモードは化学反応によって水分子や二酸化炭素になった不純物を真空ポンプで外部に排出し、RIEモードは加速したアルゴンイオンを使い不純物を物理的に弾き飛ばすという特徴があります。

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