様々な分野で利用されているプラズマクリーナー

プラズマ装置とも呼ばれているプラズマクリーナーは、肉眼では見ることができない微量の堆積物や不純物を除去する洗浄方式となります。具体的には、表面にプラズマを吹き付けることで化学反応を起こし、別の物質へと変化除去することでクリーニングをできるよう開発されました。電子部品や金属製品、樹脂の表面の洗浄を行うことができますが、主に使用されているのは半導体やIC関連となります。絶縁体の中間の抵抗率を持つ物質である半導体関連に関しては、半導体集積回路の材料となるウエハー等の有機物の除去に使用されています。

プラズマクリーナーは他にもレジスト残渣除去等にも使用されていますが、能力の発揮に関しては洗浄だけではありません。IC関連では集積回路であるICの組み立てにも使用されており、半導体製品のコアであるチップと基板を配線する工程となるワイヤーボンディングのクリーニングや、強度向上のために使用することが可能です。他にもFPDやマテリアル関連、工学やメカトロニクス産業で使用されていますが、マテリアル関連では高分子材料をコーティング前処理を行っています。プラズマクリーナーを利用しての前処理に関しては、マテリアル関連だけではありません。

工学にも利用されており、レンズの接着とコーティングの前処理に使用することができますが、機械技術と電子技術を合わせたメカトロニクス産業でも使用されており、自動車に搭載するパーツのクリーニング処理に利用することが可能です。

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