プラズマクリーナーの活用事例

プラズマクリーナーとは、製品の製造工程における腐食作用やコーティング材の密着性を向上させるなど、生産効率アップを図るための装置です。主に使われるシーンとしては半導体・電子デバイスの製造時や、印刷やコーティング材を密着させる際が挙げられます。電子機器や部品を製造する際に必要な、エッチングと呼ばれる腐食の工程やその後に行われる剥離作業の1つ・アッシングの際に活躍します。半導体をはじめとする電子材料の製造ではレジスト剥離やポリイミドの除去をはじめ、加工している部材の表面の改質、有機物および無機物の除去の際にもプラズマクリーナーが広く用いられるなど、活躍の場が増え続けている機器です。

プラズマクリーナーは、プラスチック製やアルミニウムなどの金属製品・ガラスなどのコーティングにも役立ちます。大気圧によって施されるドライプラズマクリーニングを利用して、材料の処理を連続的に行うことが可能です。続けて作業を行うことでその工程全体が清浄な状態に保たれるだけでなく、生産効率もアップします。この理由は、プラズマのエネルギー準位が高いことが大きく関係しています。

これによって材料表面に付着する化学物質や、有機物の構造を選択的に破壊できるという訳です。超微細なクリーニングを実行できるため、感度の高い表面から不要な物質のみを取り出して除去できます。高精度な除去を行うことにより、その後のコーティングもより精度が高まるという相乗効果が発揮されます。

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