生産性の向上に役立つプラズマクリーナー

精密機器を製造する企業にとって品質と生産性の向上は重要な課題です。製品が完成するまでには、何度も洗浄作業を行い有機物や無機物による細かな汚れを取り除かなければなりません。精密機器の表面を洗浄する方法にはドライ洗浄とウェット洗浄の2種類が存在します。ウェット洗浄はアンモニアや塩酸、過酸化水素水や純水を使用して精密機器に付着した汚れを取り除きます。

比較的簡単に汚れを取り除くことができますが、1回あたりの作業に時間がかかってしまいます。精密機器の品質と生産性を同時に向上させたいのであれば、ドライ洗浄を行うプラズマクリーナーを使うとよいでしょう。プラズマクリーナーはプラズマの発生過程で生じる原子やイオンを使い、精密機器に付着した汚れを取り除きます。ウェット洗浄のように薬液を洗い流して乾燥させる必要がないため、1回あたりの作業が短時間で完了します。

プラズマとは分子がプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態のことで、物質の第4の状態とも呼ばれます。物質にエネルギーを与え続けると固体から液体、気体からプラズマへと変化します。過剰なエネルギーを気体に与えると、分子から原子が離れて最終的にイオンと電子の状態になります。プラズマクリーナーにはDPモードとRIEモードという2種類の処理方式が存在します。

DPモードでは、酸素分子から離れた酸素原子が有機物と化学反応を起こして水分子と二酸化炭素に変えます。RIEモードではアルゴン原子が電離されてアルゴンイオンと電子になります。加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させ物理的に弾き飛ばします。

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