プラズマクリーナーは細かい汚れに効果的です

プラズマクリーナーは、精密機器に付着した有機物や無機物による汚れを素早く取り除くことができる装置です。半導体や電子デバイスなどの精密機器を製造する場合には、品質だけでなく生産性も考慮しなければなりません。アンモニアや塩酸などの薬液に浸したり、スプレー状にして吹きかけたりする方法はウェット洗浄と呼ばれます。ウェット洗浄でも汚れを取り除くことは可能ですが、薬液を洗い流して乾燥させるため時間がかかります。

精密機器は完成までに何度も洗浄作業を行うので、生産性を高めるには1回あたりの時間を短くしなければなりません。プラズマクリーナーは薬液を使わずドライ洗浄を行う装置であり、1回あたりの作業時間を短くできます。この装置にはRIEモードとDPモードという2種類の処理方式が存在します。RIEモードは有機物と無機物の両方に対応していて、DPモードは有機物にのみ対応可能です。

状況に応じてこれらの処理方式を使い分けると、素早く効果的に汚れを取り除くことができます。市販のプラズマクリーナーには1台で2つの処理方式を切り替えることができるタイプも存在します。RIEモードとDPモードはいずれも、減圧されたチャンバー内で高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。前者ではアルゴン原子がアルゴンイオンと電子に分かれ、加速したイオンを汚れに衝突させて弾き飛ばします。

後者は酸素分子から離れた酸素原子が汚れと化学反応を起こし、水分子と二酸化炭素に変えます。プラズマクリーナーは精密機器の品質と生産性を同時に向上させる優れた装置です。プラズマクリーナーのことならこちら

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