プラズマクリーナーは工場の生産効率を高めます

プラズマは固体や液体、気体に続く物質の第4の状態とも呼ばれており自然界では太陽やオーロラなどが代表的です。人工のプラズマは蛍光灯やプラズマクリーナーなどに利用されています。プラズマクリーナーは減圧されたチャンバー内で高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。この装置にはDPモードとRIEモードという2種類の処理方式があり、プラズマの発生過程で生じる原子やイオンを使い細かな異物を取り除きます。

半導体や電子デバイスなどの精密機器を製造する工場では、製品の品質と生産効率の工場が重要な課題です。精密機器の製造過程では有機物や無機物で構成された様々な異物が生じるため、何らかの方法で取り除かなければなりません。塩酸やアンモニアなどの薬液を使うウェット洗浄は、比較的簡単に異物を取り除くことができます。しかし薬液を洗い流して乾燥させなければならないため時間がかかってしまいます。

半導体などの精密機器は完成までに何度も洗浄を繰り返すので、ウェット洗浄では生産効率を高めることができません。プラズマクリーナーはドライ洗浄によって細かな異物を取り除くため工程数が少なく効率的です。気体にエネルギーを供給し続けると、分子から原子が離れて最終的にイオンと電子に分かれたプラズマになります。DPモードでは酸素分子から酸素原子が離れ、有機物と化学反応を起こして水分子と二酸化炭素に変えます。

RIEモードではアルゴン原子がアルゴンイオンと電子になり、加速したイオンを有機物や無機物に衝突させます。異物の発生状況に応じてこれらの処理方式を使い分けると、製品の品質と工場の生産効率を大幅に向上させることができます。

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